干式真空泵

罗茨真空泵是一种旋转式容积真空泵。二个三叶型转子与泵腔保持一定的间隙，通过一对同步反向旋转高精度齿轮使二个转子在泵腔内旋转时相互啮合并保持一定间隙。右图为泵的结构原理图，从图|至IV为转子在泵腔内旋转并完成一次吸、排气的过程。采用三叶型线转子的罗茨真空泵比传统二叶型线转子的罗茨真空泵的抽气效率、最大容许压差、温升、振动、噪声等主要性能指标都具有明显的技术优势。